熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

投込み式（コイル型）テフロン 製熱交換器

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2014年 4月

半導体製造装置会社

金めっき液

対象液：金めっき液
温度：80℃

ウェハのめっき工程、金メッキ液加熱用途で採用。
既存の熱交換器は槽内の液流れでチューブが揺れ、
細いチューブ同士がこすれて摩耗・破断の原因となっていた。
半導体用途の為、PFAチューブ以外の構成部品はPTFE材質に仕様変更して製作。

従来のΦ2.54チューブの熱交換器からΦ6.35チューブの熱交換器に変更したことで
長寿命で使用出来るようになった。